器件制備設備
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產品概述▼
磁控離子濺射儀可用于在柔性電子器件、柔性傳感器件制作環節中制備電極層，鍍金、鉑、銀等金屬電極，也可以用于電鏡樣品制備。
產品特點▼
●制備樣品顆粒精細
● 可選靶材范圍廣泛
● 樣品室空間充足，可單次制備多個樣品
技術參數▼
工作原理
磁控濺射
靶材尺寸
φ57*0.1mm(Pt)
真空室
φ130*130mm高透光高硼硅玻璃
樣品臺尺寸
φ64mm
工作氣體
空氣/氬氣
保護功能
過流保護，真空保護
技術指標可能會因產品升級完善而改變，實時參數請聯系銷售經理
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